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首页 > 产品中心 > 晶圆明/暗场检测镜头
晶圆明暗场检测镜头
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详情介绍:晶圆明暗场物镜是半导体晶圆（Wafer）缺陷检测专用无限远平场复合物镜，单颗物镜集成明场 + 暗场双光路，配套金相 / 半导体检测显微镜、晶圆 AOI 设备，用于 6/8/12 寸裸晶圆、光刻后晶圆、芯片划片缺陷检测，是半导体前道、封装质检核心光学配件。

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晶圆明暗场物镜是半导体晶圆（Wafer）缺陷检测专用无限远平场复合物镜，单颗物镜集成明场 + 暗场双光路，配套金相 / 半导体检测显微镜、晶圆 AOI 设备，用于 6/8/12 寸裸晶圆、光刻后晶圆、芯片划片缺陷检测，是半导体前道、封装质检核心光学配件。

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