355nm紫外物镜
装备精度:装配后需求是镜片偏心+-0.01mm,倾斜+-30”, 空气间隙+-0.01mm。组合后测试,整个镜组在干涉仪上测试镜组波前。
详情介绍:355nm 紫外物镜是专为355nm 近紫外波段(Nd:YAG 激光三次谐波)优化设计的精密光学物镜,核心用于紫外激光精密加工、显微观测与紫外成像,具备高透过、高分辨率、低像差、耐激光损伤等关键特性,是紫外光学系统的核心成像 / 聚焦元件。 一、核心定义与波段定位 工作波段:以355nm为中心,兼容 266nm(深紫外)、532nm(可见光)等多波长,覆盖近紫外至可见光区间。 光学类型:多为无限远校正、平面复消色差(Plan APO) 设计,部分为长工作距离(LWD)、高分辨率(HR)专用型。 核心用途:聚焦 355nm 脉冲激光实现微加工,或对紫外敏感样品进行显微观测、同轴成像检测。 二、关键技术特点 1. 光学设计与像差校正 复消色差校正:精准补偿 355nm 紫外与 532nm 可见光的色差、球差、场曲,全视场边缘成像清晰,无边缘模糊。 高数值孔径(NA):NA 常见 0.4–0.65,直接决定分辨率(355nm 下可达 0.4–0.7μm)与聚焦光斑尺寸,适配精密微加工。 长工作距离(WD):标准型 WD 5–15mm,长距型可达 65mm 以上,适配厚样品、带保护玻璃加工或非接触观测。 无限远共轭:兼容显微镜镜筒、激光扫描系统,可灵活搭配管镜、相机、振镜等组件。 2. 材料与镀膜性能 紫外高透材料:采用紫外级光学玻璃 / 熔融石英,355nm 透过率≥50%,避免普通玻璃对紫外的强吸收。 抗激光损伤镀膜:镀宽带紫外增透膜(AR),355nm 激光损伤阈值典型值0.05J/cm²(10ns 脉冲),适配高功率脉冲激光。 非胶合结构:高端型号采用空气间隔非胶合镜片,提升激光耐久性,减少胶合层老化与损伤风险。